研究成果
平成28年度成果
面発光レーザ
1素子：3mW（世界最高出力）
紫外線センサー
Si系センサーよりも4～5桁高感度 and 低暗電流
光電子増倍管と同程度の受光感度
→応答速度も比較的高速
縦伝導型面発光レーザ
【VCSEL設計構造】
【活性層付近の電界分布および屈折率分布】
- 下部DBRを貫く縦方向電流注入構造
- 1.5λと赤外VCSELに近い共振器長
縦伝導型面発光レーザ
【電流 ― 電圧 ― 光出力特性】
【レーザ発振時の様子】
- 閾値電流: 2.6mA (5.2kA/cm2)
- 閾値駆動電圧: 5.0V
- 直列抵抗: 135Ω (高電流注入時)
窒化物面発光レーザでは初の下部DBRを貫く縦方向電流注入駆動による室温連続発振を達成
縦伝導DBR+トンネル接合の活用
目的: 青色面発光レーザ(VCSEL)の低しきい値化およびスロープ効率の向上
→埋め込みトンネル接合による電流狭窄構造の応用
現状
- 駆動電圧: 6.16V @5kA/cm2
- 明確な電流狭窄
- 比較的良好な表面形状
今後
- 面発光レーザへの適用
- 他の光デバイスへの適用
- 物理の解明
電子線励起型GaN系紫外半導体レーザ
光強度―注入パワー密度依存性
試料構造
スペクトル
偏光特性